洗浄機

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093896
公開番号（公開出願番号）：特開平8-290090
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】効率のよい洗浄が可能な洗浄機を提供する。【構成】プローブピン3やスクリーン版の機器に対して、移動洗浄ノズル部49の外側の管49bからイソプロピルアルコール(IPA)2が噴射され、内側の管49aから洗浄用エアー5が噴射されるので、効率の良い自動洗浄が可能となる。

請求項（抜粋）：

実装基板の作製に際して使用される、被洗浄対象である機器に付着した不要物を洗浄により除去する洗浄機において、該不要物の付着した該機器に対して、該不要物を溶解する溶液と洗浄用エアーとを別々の流路を介して噴射する移動洗浄ノズル部を備える洗浄機。

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