質量分析装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-313826
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161719
出願日： 1995年12月01日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】エネルギー分散の大きいイオンビームを偏向する場合におけるそのイオンビ-ムの広がりを抑え得る高感度・高効率に検出可能な質量分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】ガスクロマトグラフや液体クロマトグラフ等の前処理系1、移動相除去系2を経て分離された試料は、イオン源3でイオン化され、質量分析系4で質量分析される。質量分析されたイオンは偏向・収束電極系5の偏向部A、収束部Bで各々偏向・収束され、その後イオン検出系8で検出され、データ処理系11で検出結果が処理される。ここで、偏向・収束電極系5はイオンビームを偏向する偏向部Aと偏向したイオンビームを収束する収束部Bから構成され、イオン検出系8及び内側偏向電極7には制御系10で決定された電圧が印加される。

請求項（抜粋）：

イオンを質量分析する質量分析器と、その質量分析されたイオンを偏向するイオン偏向器と、その偏向されたイオンを集束するイオン集束器と、その集束されたイオンを検出するイオン検出器とを備えていることを特徴とする質量分析装置。

IPC (4件)：

H01J 49/22 , H01J 49/06 , H01J 49/42 , G01N 27/62

FI (4件)：

H01J 49/22 , H01J 49/06 , H01J 49/42 , G01N 27/62 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-032145
特開昭61-107650
特開昭62-044947

前のページに戻る