特許
J-GLOBAL ID：200903028810435582
振動型ジャイロセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-374325
公開番号（公開出願番号）：特開2006-284551
出願日： 2005年12月27日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】簡易な構成によって小型化と高Q値を得ることで特性の向上を図る。【解決手段】本発明の振動型ジャイロセンサ1は、回路素子が実装されるとともに複数個のランド4を有する配線パターンが形成された支持基板2と、この支持基板の表面2-1に実装された振動素子20とを備え、振動素子20は、上記ランドに接続される複数の端子部25が形成された実装面22-2を有する基部22と、この基部22の側周部から片持ち梁状に一体に突設され基部22の実装面と同一面を構成し第1電極層27とこの第1電極層の上に積層された圧電層28とこの圧電層の上に積層された第2電極層29,30とがそれぞれ形成された基板対向面を有する振動子部23とを有するとともに、振動素子20は、各端子部25が金属凸部26を介してランド4に接合されることによって支持基板2上に実装されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
回路素子が実装されるとともに複数個のランドを有する配線パターンが形成された支持基板と、この支持基板の表面に実装された振動素子とを備えた振動型ジャイロセンサにおいて、
前記振動素子は、
前記ランドに接続される複数の端子部が形成された実装面を有する基部と、
この基部の側周部から片持ち梁状に一体に突設され前記基部の実装面と同一面を構成し第1電極層とこの第1電極層の上に積層された圧電層とこの圧電層の上に積層された第2電極層とがそれぞれ形成された基板対向面を有する振動子部とを有するとともに、
前記振動素子は、前記各端子部が金属凸部を介して前記ランドに接合されることによって前記支持基板上に実装されている
ことを特徴とする振動型ジャイロセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105BB02
, 2F105BB13
, 2F105CC06
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
出願人引用 (1件)
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圧電振動角速度計
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-258102
出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (13件)
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