特許
J-GLOBAL ID：200903028818354751
真空処理装置のロードロック室
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220455
公開番号（公開出願番号）：特開平10-050798
出願日： 1996年08月02日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】ロードロック室内の容積を可及的に減少させ、真空排気、復圧動作に要する時間を短縮して装置全体の処理能力の向上を図る。【解決手段】リング状に形成したフランジ29の一方の面から気密に当接する外蓋46と前記フランジの他方の面から気密に当接する中蓋34を有し、前記外蓋と中蓋間で気密な空間48が形成される真空処理装置のロードロック室に係り、外蓋が開放された状態で外蓋が属する空間側より被処理物を搬入搬出が可能で、搬入後、外蓋と中蓋を閉じると密閉な収納空間が形成され、中蓋が開放されると中蓋が属する空間側から被処理物の搬入搬出が可能となり、フランジ、外蓋、中蓋が形成する収納空間は被処理物に対して余剰な空間が極めて少なく、真空排気、復圧動作に要する時間が短縮する。
請求項（抜粋）：
リング状に形成したフランジの一方の面から気密に当接する外蓋と前記フランジの他方の面から気密に当接する中蓋を有し、前記外蓋と中蓋間で気密な空間が形成されることを特徴とする真空処理装置のロードロック室。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, C23C 14/56
, C23C 16/44
, C23F 4/00
, H01L 21/205
H01L 21/68 A
, C23C 14/56 G
, C23C 16/44 B
, C23F 4/00 A
, H01L 21/205
