特許

J-GLOBAL ID：200903028821103646

検査装置及び検査方法

発明者： 香川 正毅 ,  菊地 稔
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170133
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004346
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】 成膜された膜質に依らず高い反射率で成膜欠陥を検査する。【解決手段】 出射する光の波長を設定する制御部7を有し、少なくとも検査対象となる膜が成膜された光記録媒体1に対して、上記制御部7で設定された波長の光を出射する分光器4と、上記分光器4から出射された光が反射してなる反射光を受光する受光部5を有し、当該反射光の反射率変化を検出する検出器6とを備え、上記制御部7では、検査対象の膜に応じて、反射率変化が大となる波長領域の光が設定される。

請求項（抜粋）：

出射する光の波長を設定する制御部を有し、少なくとも検査対象となる膜が成膜された光記録媒体に対して、上記制御部で設定された波長の光を出射する光出射部と、上記光出射部から出射された光が反射してなる反射光を受光する受光部を有し、当該反射光の反射率変化を検出する検出器とを備え、上記制御部では、検査対象の膜に応じて、反射率変化が大となる波長領域の光が設定されることを特徴とする検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/88

FI (3件)：

G01B 11/30 A ,  G01B 11/06 Z ,  G01N 21/88 630 A

Fターム (22件)：

2F065AA30 ,  2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065CC31 ,  2F065FF44 ,  2F065GG06 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL67 ,  2F065MM02 ,  2F065NN06 ,  2F065PP13 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051BA06 ,  2G051BA08 ,  2G051BA10 ,  2G051CA02 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08