特許
J-GLOBAL ID：200903028832621312
光学式変位センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265764
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098207
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 物体に光を照射して発生する回折、干渉により、干渉光束が変調されることを利用して、物体の移動や変位などの物理量を求める光学式変位センサにおいて、部品点数の少ない簡単な構成とし、組立が容易で小型化を可能にすること。【構成】 発光部より発光された光束が変調手段としてのスケール部101に形成された格子の近傍に格子線の方向に関して集光され(球面波)、格子の配列方向には平行光(平面波)もしくは、極めて大きな曲率半径を有する球面波となるように投光手段100を構成したこと。
請求項（抜粋）：
発光素子から射出された光束の集束、発散状態を変換する光学手段および光束分割手段である第1の回折格子から成る投光手段と、第2の回折格子が設けられた光の変調手段と、前記変調手段からの変調光同士を合成し、干渉光束を得る第3の回折格子および該干渉光束を受光する受光素子から成る受光手段とを有する光学式変位センサにおいて、前記干渉光束を得るために前記光束を前記第1の回折格子で分離し、その分離された内の2光束を前記第3の回折格子で合成するまでの過程で、前記第2の回折格子から前記第3の回折格子までの分離された光路長の各々をL1 ,L2 とすると、前記第1の回折格子もしくは前記第3の回折格子の格子線の方向に関して、前記第1の回折格子から分離された光束の各々に沿って、光路長が(L1 +L2 )/2の位置に対応する領域において、光束が集束され、格子配列方向には実質的な平行光と成る様に、前記投光手段を構成したことを特徴とする光学式変位センサ。
IPC (2件)：
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