特許
J-GLOBAL ID：200903028834635019
走査型電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早瀬 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084799
公開番号（公開出願番号）：特開平5-248843
出願日： 1992年03月05日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 倍率や電子銃の加速電圧等の測定条件の変動によって生ずる測長値の誤差や複数の測定装置間で生ずる測定誤差を正確に補正し、しかもその出力には補正処理を施した測長値を直接得ることができる走査型電子顕微鏡を得る。【構成】 測定サンプルと測定倍率が異なるそれぞれの測定条件に対して、各測定条件に対応した補正式y=ax+bを、設計値と特定の測長値とに基づいて作成し、これを端末装置6からディスク装置5に格納し、所定の測定条件での測長の際、ディスク装置5に格納されている補正式の中からこの測定条件に対応する補正式を選択し、この補正式により測長値を補正するようにした。
請求項（抜粋）：
被測定物上に電子ビームを走査しながら照射する電子ビーム照射装置と、該被測定物からの反射あるいは透過電子を検出する検出器とを備え、被測定物の拡大像を形成する機能とともに、上記検出器の出力に基づいて上記被測定物表面上の目標間距離の測長値を種々の測定条件の下で求める測長機能を搭載した走査型電子顕微鏡において、特定の被測定物の測長値あるいは被測定物表面上の目標間の設計距離を基準として各測定条件に対応して作成された、各測定条件下における測長値を補正するための複数の補正式を記憶する補正式記憶手段と、所定の測定条件を特定する外部信号により上記複数の補正式の中から該所定の測定条件に対応するものを選択する補正式選択手段とを備え、各々の測定条件下において求められた測定値を各測定条件に対応する補正式により補正するようにしたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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