特許
J-GLOBAL ID：200903028851390763
連続シート状材料の表面処理方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔦田 璋子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-051369
公開番号（公開出願番号）：特開平8-244123
出願日： 1995年03月10日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：
【要約】【目的】 真空処理室内において連続して走行する連続シート状材料に対して、プラズマ等による表面改質処理や、スパッタ法やプラズマCVD法等による成膜処理などの表面処理を行なう際に、連続シート状材料を支持するロール間隔が長くても、該連続シート状材料を良好に連続走行させて表面処理することができる連続シート状材料の表面処理方法を提供する。【構成】 連続シート状材料Wをその幅方向が鉛直方向となるように連続走行させつつ表面処理を行なう。
請求項（抜粋）：
真空処理室内において連続して走行する連続シート状材料に対して、プラズマ等による表面改質処理や、スパッタ法やプラズマCVD法等による成膜処理などの表面処理を行なう連続シート状材料の表面処理方法において、前記連続シート状材料をその幅方向が鉛直方向となるように連続走行させつつ前記表面処理を行なうことを特徴とする連続シート状材料の表面処理方法。
IPC (7件)：
B29C 71/04
, C08J 7/00 306
, C08J 7/00 307
, C23C 14/56
, C23C 16/44
, G02F 1/13 101
, B29L 7:00
B29C 71/04
, C08J 7/00 306
, C08J 7/00 307
, C23C 14/56 A
, C23C 16/44 F
, G02F 1/13 101
