隔壁形成方法および装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-262188
公開番号（公開出願番号）：特開2000-090826
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】大面積であっても均一な転写または賦型が行われガラス基板に完全な形状で隔壁が形成される隔壁形成方法および装置の提供。【解決手段】プラズマディスプレイパネルのガラス基板に隔壁を形成する方法であって、型部材の隔壁型面とガラス基板の隔壁形成面とを対置する対置過程と、その対置領域と、型部材外側領域と、ガラス基板外側領域とを真空にする真空過程と、型部材外側領域そして/またはガラス基板外側領域を大気圧に戻すことにより生じる対置領域と型部材外側領域そして/またはガラス基板外側領域との圧力差を利用して型部材とガラス基板とを密着する密着過程と、対置領域を大気圧に戻し型部材外側領域そして/またはガラス基板外側領域を再び真空にすることにより生じる対置領域と型部材外側領域そして/またはガラス基板外側領域との圧力差を利用して型部材とガラス基板とを剥離する剥離過程と、から構成される隔壁形成方法。およびその方法が適用される隔壁形成装置。

請求項（抜粋）：

プラズマディスプレイパネルのガラス基板に隔壁を形成する方法であって、型部材の隔壁型を有する隔壁型面とガラス基板の隔壁を形成する隔壁形成面とを対向させて配置する対置過程と、前記隔壁型面と前記隔壁形成面とが成す対置領域と、前記隔壁型面と反対側の型部材外側領域と、前記隔壁形成面と反対側の前記ガラス基板外側領域とを真空にする真空過程と、前記型部材外側領域そして/または前記ガラス基板外側領域を大気圧に戻すことにより生じる前記型部材の前記対置領域と前記型部材外側領域との圧力差そして/または前記ガラス基板の前記対置領域と前記ガラス基板外側領域との圧力差を利用して前記型部材と前記ガラス基板とを密着する密着過程と、前記対置領域を大気圧に戻し前記型部材外側領域そして/または前記ガラス基板外側領域を再び真空にすることにより生じる前記型部材の前記対置領域と前記型部材外側領域との圧力差そして/または前記ガラス基板の前記対置領域とガラス基板外側領域との圧力差を利用して前記型部材と前記ガラス基板とを剥離する剥離過程と、から構成されることを特徴とする隔壁形成方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 , G09F 9/30 324 , H01J 11/02

FI (3件)：

H01J 9/02 F , G09F 9/30 324 , H01J 11/02 B

Fターム (23件)：

5C027AA09 , 5C040FA01 , 5C040GF02 , 5C040GF19 , 5C040JA19 , 5C040JA20 , 5C040JA28 , 5C040JA34 , 5C040KA16 , 5C094AA03 , 5C094AA14 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094AA46 , 5C094AA48 , 5C094AA55 , 5C094BA31 , 5C094DA13 , 5C094EB02 , 5C094EC04 , 5C094FB01 , 5C094FB15 , 5C094GB10

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