特許
J-GLOBAL ID：200903028871390220
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-075672
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291175
出願日： 1993年04月01日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：
【要約】【構成】単結晶サファイア製板状体1に内部電極2を備え、該板状体1の表面に物体を吸着するための吸着面1aを形成して静電チャックを構成した。【効果】漏れ電流が極めて小さく、機械的強度に優れ、高い吸着力を得られ、シリコンウェハなどの被吸着物6を汚染しにくい。
請求項（抜粋）：
静電作用による吸着面が単結晶サファイアの板状体から成る静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, H02N 13/00
