特許

J-GLOBAL ID：200903028871936908

処理装置、洗浄処理装置の画面処理方法

発明者： 岩間 達之
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  東京エレクトロン九州株式会社
代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214122
公開番号（公開出願番号）：特開平8-107096
出願日： 1995年07月31日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【課題】 レシピ設定/修正メニューを一般オペレータから有効に保護可能なオペレータ用画面処理方法を提供する。【解決手段】 本発明によれば、電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニューのみが表示され、エンジニア用メニュー画面は表示されない。したがって、その画面へのアクセスが禁止されている一般オペレータからその画面へのアクセスは有効に保護される。そして、洗浄処理装置の各構成部材に関するパラメータ、あるいは処理フローに関するパラメータについて新たに設定修正が必要になった場合には、パスワードと知っているエンジニアが、電源入力時に表示される一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードを入力することにより、エンジニア用メニュー画面にアクセスすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

被処理体が装置内に搬入されるローダ部と、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部とを備え、被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器が、前記ローダ部と前記アンローダ部との間に順次配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示し、パスワードの入力を待って、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/04 ,  B08B 13/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• メニユー情報作成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-172455   出願人：株式会社東芝
• 特開平2-244709
  
• 特開昭63-015420