特許
J-GLOBAL ID：200903028876052145
パルスレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-328546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-152004
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 パルスレーザ装置において、主放電電極内の空間を予備電離する際に、電流導入端子の絶縁体とこれに近接する電流導入棒、電流導入端子ホルダ等の金属との隙間に発生するコロナ放電とこれに伴うオゾン生成とを回避し、前記金属の腐食を防止する。【構成】 レーザ発振装置の電流導入端子において、電流導入棒1と絶縁体のセラミックス4との隙間8または電流導入端子ホルダ7とセラミックス4との隙間10を変形可能な樹脂9で封止し、前記隙間に対する大気の流入を遮断する。これにより、電流導入棒1または電流導入端子ホルダ7とセラミックス4との隙間にコロナ放電があっても、酸素が供給されないためオゾンが生成されず、金属の腐食は起こらない。前記隙間8または10に樹脂を充填してもよい。
請求項（抜粋）：
レーザ発振装置の電流導入部において、電流導入棒と電流導入棒を取り囲むセラミックスとの隙間または電流導入端子ホルダとセラミックスとの隙間を変形可能な材料で封止し、または前記隙間に変形可能な材料を充填したことを特徴とするパルスレーザ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/03 Z
, H01S 3/097 E
