ウェハ冷却装置及びその冷却方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-185120
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031663
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】熱処理後のウェハの冷却時間を短縮し、熱処理工程の生産性を高めることができるウェハ冷却装置及びその冷却方法を提供する。【解決手段】ウェハ2を冷却するためのウェハ冷却室12を備えたウェハ冷却装置であって、上記ウェハ2が収納された上記ウェハ冷却部に、高圧ボンベ14から高圧窒素30を導入し、さらに上記ウェハ冷却室12に導入された高圧窒素30を予備真空室16に急速に流し、急激にその体積を膨張させることにより、ウェハ2を均一に急速に冷却する。

請求項（抜粋）：

ウェハを冷却するためのウェハ冷却部を備えたウェハ冷却装置において、上記ウェハが収納された上記ウェハ冷却部に高圧気体を導入する導入手段を具備することを特徴とするウェハ冷却装置。

IPC (2件)：

H01L 21/26 , H01L 21/324

FI (3件)：

H01L 21/26 G , H01L 21/324 W , H01L 21/324 R

前のページに戻る