特許

J-GLOBAL ID：200903028883647820

振動検出部と振動検査装置

発明者： 澤 英二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-091312
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287703
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 各種装置が発生する振動の振動検出装置とその方法で、特に、製造工場での製造組立ラインの最終検査工程で行われる振動検査で、不規則に発生する暗振動を除去して正確に振動を検出し異常状態を判定する振動検出装置と方法を提供する。【解決手段】 振動検出装置1の振動検出器に、防振材17を挟んで防振材17の対向する面の対称位置に相互に逆の姿勢になるように2つの振動検出部3を設ける。

請求項（抜粋）：

被検査体の振動を振動検出部で被検査体に接触して検出し、その検出結果にもとづいて異常判定部で振動の異常判定を行う振動検出装置において、前記振動検出部は駆動機構に保持され、前記被検査体に接触するための先端に所定の曲率を持つチップが設けられて防振材に固着されていると共にその出力が加算器に接続された第1の振動検査部と、この第1の振動検査部と逆姿勢で前記防振材の反対面の対称位置に固着され、先端に前記チップと同様のチップが設けられていると共にその出力がデジタルフィルタを介して前記加算器に接続された第2の振動検査部とを具備し、かつ、前記異常判定部は、前記加算器からの出力によって振動の異常を判定することを特徴とする振動検出装置。