特許
J-GLOBAL ID：200903028884168152
耐紫外線性の優れた紫外線光学用蛍石及び 蛍石の透過率検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-069381
公開番号（公開出願番号）：特開平7-281001
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 ステッパーの要求する高透過率を満足し、長時間の露光に対しても透過率低下の少ない、すなわち耐紫外線性のある蛍石を得る。【構成】 レーザー光のエネルギー密度を実際のステッパー稼働時の条件より高く設定することにより、短時間の照射試験、すなわち少ないショット数で検査を行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
紫外線光学系に用いられる紫外線光学用蛍石において、エネルギー密度50〜500mJ/cm2、50〜500Hzのレーザー光を104〜107ショット照射したときの内部透過率が厚さ10mm当たり90.0%以上であることを特徴とする紫外線光学用蛍石。
IPC (5件)：
G02B 1/02
, C30B 29/12
, G01N 21/59
, H01S 3/223
, C30B 11/00
