特許

J-GLOBAL ID：200903028891397221

帯電電荷量測定装置

発明者： 齊藤 哲郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丹羽 宏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-183339
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004787
出願日： 2001年06月18日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 絶縁性基板に溜まっている静電気量を測定する際にアースを取った導電板と一定の距離を置き、表面電位を測定する方法が有るが、接地板と被測定物の間隔の大小は、測定値に大きく影響する。【解決手段】アースを取った導電性の接地板2と被測定物である絶縁性基板1の距離を一定に保つため、絶縁性基板1と接地板2との間に球状の絶縁体のスペーサ4を設けた。【効果】絶縁性基板1の自重によるたわみを抑え、接地板2とスペーサ4との接触が点接触となり、測定誤差を抑えることができる。

請求項（抜粋）：

絶縁性の基板の一方の面側に一定距離をあけて表面電位計の測定プローブを配置し、該測定プローブと対向して前記基板の他方の面側に該基板と一定間隔を介して接地板を設け、前記表面電位計により前記基板の前記一方の面の表面電位V1を複数箇所測定し、同様の方法により前記基板の他方の面側の第一の面の測定箇所に対応する箇所の表面電位V2を複数箇所測定し、V1とV2から前記基板の両面の帯電電荷密度の分布を求める装置において、前記基板と前記接地板の間に球状の絶縁体を設けた事を特徴とする帯電電荷量測定装置。

IPC (3件)：

G01R 29/24 ,  G01N 27/00 ,  G02F 1/1333 500

FI (3件)：

G01R 29/24 G ,  G01N 27/00 Z ,  G02F 1/1333 500

Fターム (9件)：

2G060AA09 ,  2G060AE40 ,  2G060AF15 ,  2G060AF20 ,  2G060EB07 ,  2H090JB02 ,  2H090JC18 ,  2H090LA04 ,  2H090MB01