特許
J-GLOBAL ID：200903028904549638
表面形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-001865
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212316
出願日： 2003年01月08日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：
【課題】被検面の高さ方向のデータを分解能を保ちつつ高速に取得する。【解決手段】本発明の表面形状測定装置は、被検面(18)に略共役な位置に配置された複数のピンホール(15-i)を透過した光を、対物レンズ(14)を介して被検面に導入する照明光学系と、前記被検面からの反射光を前記対物レンズで集光し、前記複数のピンホールまたは前記複数のピンホールと共役位置にある複数のピンホールを介して、前記複数のピンホールと共役な位置にある受光面(17)で受光して前記受光面に前記被検面の画像を形成する受光光学系とを備える。前記ピンホールは、前記被検面からの前記照明光学系および前記受光光学系の光軸方向の高さが互いに異なる位置に配置され、前記被検面と前記ピンホールとの相対位置を、前記光軸方向と垂直な所定の方向に移動させる走査装置(15b)を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検面に略共役な位置に配置された複数のピンホールを透過した光を、対物レンズを介して被検面に導入する照明光学系と、
前記被検面からの反射光を前記対物レンズで集光し、前記複数のピンホールまたは前記複数のピンホールと共役位置にある複数のピンホールを介して、前記複数のピンホールと共役な位置にある受光面で受光して前記受光面に前記被検面の画像を形成する受光光学系とを備え、
前記ピンホールは、前記被検面からの前記照明光学系および前記受光光学系の光軸方向の高さが互いに異なる位置に配置され、
前記被検面と前記ピンホールとの相対位置を、前記光軸方向と垂直な所定の方向に移動させる走査装置を備えた
ことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2F065AA04
, 2F065AA24
, 2F065AA45
, 2F065CC26
, 2F065CC27
, 2F065CC28
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL28
, 2F065PP12
