特許
J-GLOBAL ID:200903028906043944

電子顕微鏡等の試料冷却ホルダ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-225889
公開番号(公開出願番号):特開平6-076777
出願日: 1992年08月25日
公開日(公表日): 1994年03月18日
要約:
【要約】【目的】 一度の試料棒セットで複数個の試料の検鏡を行うことを可能にすると共に、耐震性を向上して高分解能の写真撮影を可能にし、かつ操作性良く試料押えを行うことを可能にする。【構成】 一端が冷却された熱伝導棒を収納する試料棒の先端に取り付けられ、電子線通過用の孔が開けられたキャップに摺動可能に挿入される試料ホルダであって、該試料ホルダに試料棒の長さ方向に複数個の試料を収納するようにしたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
一端が冷却された熱伝導棒を収納する試料棒の先端に取り付けられ、電子線通過用の孔が開けられたキャップに摺動可能に挿入される試料ホルダであって、該試料ホルダに試料棒の長さ方向に複数個の試料を収納するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡等の試料冷却ホルダ。
IPC (2件):
H01J 37/20 ,  H01J 37/26
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭61-200657

前のページに戻る