特許

J-GLOBAL ID：200903028910367932

画素容量検査装置

発明者： 森 一夫
出願人/特許権者： アジアエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222482
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051620
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 TFT-LCDにおける画素容量の検査を短時間で行う。【解決手段】 スイッチSW1,SW3をオンにし、電源eからノードAにVpを与える。スイッチSW1をオフにし、電源からノードBにVsを与える。スイッチSW3をオフ、スイッチSW1をオンにした後、電圧計VによりスイッチSW3の両端の電位差を測定する。スイッチSW2が常にオフのときにスイッチSW3の両端に得られる電位差をΔVs1とし、スイッチSW2が常にオンのときにスイッチSW3の両端に得られる電位差をΔVs2とすると、画素容量Cpは、(ΔCs・ΔVs1・ΔVs2)/{(Vp-Vs)・(ΔVs1-ΔVs2)}により求められる。但し、ΔCsは、基準容量である。

請求項（抜粋）：

第1スイッチと前記第1スイッチの一端に接続される駆動電極とから構成される画素を有する被測定デバイスの前記駆動電極に生じる画素容量Cpを検査する画素容量検査装置において、既知の基準容量ΔCsを有するキャパシタと、前記キャパシタと前記第1スイッチの他端の間に接続される第2スイッチと、電源と、前記電源と前記第1スイッチの他端の間に接続される第3スイッチと、前記第1スイッチの他端の電位を測定する測定回路とを具備することを特徴とする画素容量検査装置。

IPC (2件)：

G09F 9/00 352 ,  G02F 1/1365

FI (2件)：

G09F 9/00 352 ,  G02F 1/136 500

Fターム (15件)：

2H092JA24 ,  2H092JA48 ,  2H092JB61 ,  2H092JB77 ,  2H092MA57 ,  2H092MA58 ,  2H092NA13 ,  2H092NA15 ,  2H092NA16 ,  2H092NA25 ,  2H092NA30 ,  2H092PA06 ,  2H092QA07 ,  5G435AA19 ,  5G435BB12