特許

J-GLOBAL ID：200903028917515279

露光方法及び露光装置

発明者： 黒田 亮 ,  島田 康弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-322231
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145051
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 エバネッセント光を用いた露光で100nm以下の解像力を達成する露光方法及び露光装置を実現すること。【解決手段】 表面に幅が100nm以下の開口からなる微小開口パターンを有し、且つ弾性体で構成されてマスク面の法線方向に弾性変形可能なマスクを用いて、該マスク表面に対向して配置した非露光物に該微小開口パターンの露光・転写を行なうことを特徴とする露光方法及び露光装置。

請求項（抜粋）：

弾性体で構成され、表側の面に100nm以下の幅の微小開口パターンを有するマスクを用いて被露光物にパターンを露光転写する露光装置において、該マスクを弾性変形させて前記被露光物に密着させる手段と、該マスクの裏面側から光を照射することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-282432