特許

J-GLOBAL ID：200903028925150166

製造工程管理システム

発明者： 高野 都美子 ,  福田 悦生
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303579
公開番号（公開出願番号）：特開平5-216896
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【構成】 製造工程情報とこの製造工程情報に対応するシミュレーション情報との対応関係を保持するコード変換テーブル3と、テーブル3を用いて製造工程情報を対応するシミュレーション情報に変換するデータ変換部2と、製造装置のレシピ情報をシミュレーション用レシピ情報に変換するレシピ情報変換部6と、変換されたシミュレーション用レシピ情報を格納するレシピデータファイル5と、ファイル5に格納されているシミュレーション用レシピ情報をデータ変換部2で変換されたシミュレーション情報に付加するレシピ情報付加部4と、シミュレーション用レシピ情報が付加されたシミュレーション情報8を用いてシミュレーションを実行するシミュレータ9と、シミュレーション結果を製造工程管理システム13へ転送するデータ転送部12とから構成されている。【効果】 プロセスフロー作成が簡便になり、シミュレーション精度が向上する。

請求項（抜粋）：

製造工程情報とこの製造工程情報に対応するシミュレーション情報との対応関係を保持するコード変換テーブルと、このコード変換テーブルを用いて製造工程情報を対応するシミュレーション情報に変換するデータ変換部と、製造装置の起動条件情報を、シミュレーション用の起動条件情報に変換するレシピ情報変換部と、このレシピ情報変換部によって変換されたシミュレーション用の起動条件情報を格納するレシピデータファイルと、このレシピデータファイルに格納されているシミュレーション用の起動条件情報を、前記データ変換部によって変換されたシミュレーション情報に付加するレシピ情報付加部と、このレシピ情報付加部によってシミュレーション用の起動条件情報が付加されたシミュレーション情報を用いてシミュレーションを実行するシミュレータと、シミュレーション結果を製造工程ラインへ転送するデータ転送部とを具備した事を特徴とする製造工程管理システム。

IPC (4件)：

G06F 15/21 ,  B23Q 41/08 ,  G06F 15/20 ,  H01L 21/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-249328
  
• 特開昭63-249328