特許

J-GLOBAL ID：200903028936430250

抵抗変化材料の製造方法およびセンサ

発明者： 生嶋 君弥 ,  内田 幹也
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 奥田 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-111170
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006814
出願日： 2003年04月16日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】ボロメータ型の赤外線センサにおいて抵抗変化材料の1/fノイズを低減し、赤外線センサのS/Nを向上する。【解決手段】化学的気相成長法により、Tiを主成分として含有する薄膜11を形成する工程と、薄膜11を酸化することにより、抵抗変化材料として機能するTi酸化物12を形成する工程とを含む抵抗変化材料の製造方法。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

化学的気相成長法により、Tiを主成分として含有する薄膜を形成する工程と、 前記薄膜を酸化することにより、抵抗変化材料として機能するTi酸化物を形成する工程と、 を含む抵抗変化材料の製造方法。

IPC (5件)：

H01C7/04 ,  C01G23/07 ,  H01L27/14 ,  H01L27/146 ,  H01L37/00

FI (5件)：

H01C7/04 ,  C01G23/07 ,  H01L37/00 ,  H01L27/14 C ,  H01L27/14 K

Fターム (35件)：

2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BE08 ,  2G065DA20 ,  4G047CA02 ,  4G047CA10 ,  4G047CB04 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4K030AA03 ,  4K030BA18 ,  4K030BA46 ,  4K030BB14 ,  4K030DA08 ,  4K030FA10 ,  4K030JA01 ,  4K030JA10 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CA15 ,  4M118CA35 ,  4M118CB05 ,  4M118EA01 ,  4M118GA10 ,  5E034BA09 ,  5E034BB08 ,  5E034BC01 ,  5E034DA02 ,  5E034DB01 ,  5E034DB03 ,  5E034DE16