特許
J-GLOBAL ID：200903028937366938
真空容器、ガスケット、及び真空シール形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
頓宮 孝一 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110737
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183470
出願日： 1993年05月12日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 電子デバイスを収容する真空モジュールの部分間の封止を向上させ、モジュールの内部と外部との間に導電経路を提供する。【構成】 可撓ケーブル52の一部から絶縁体53を除去し、絶縁体53内のワイヤ54を露出させ、露出したワイヤ部分をエラストマー誘電体ガスケット32に成形する。可撓ケーブル52はガスケット32の内部及び外部の両表面から延出したままの状態になり、可撓ケーブルの端部は外側ではコネクタ56に接続され、内側では真空チャンバ内に収容される電子デバイス42に終端している。ガスケット32は2つのシェル部分の間に配置され、気密シールを確保するようにそれらの間に締め付けられる。可撓ケーブル52はガスケット32内を通過することになり、別の方法で真空チャンバの壁部を貫通する必要はなく、所望の真空レベルを耐久年数にわたって維持するように真空チャンバの性能を向上することができる。
請求項（抜粋）：
電子デバイスを封入し、前記デバイスの周囲の真空を維持するための真空容器であって、第1の封止面を有する第1のシェルと、第2の封止面を有する第2のシェルと、前記シェルの内の一つのシェルの前記封止面に重なるように前記第1と第2の封止面に適合する形状を有し、前記シェルの前記封止面の一方に係合するための第1の表面と、前記シェルの前記封止面の他方に係合するための第2の表面とを有するガスケットと、第1と第2の端部を有し、前記シェルの外側から前記ガスケットを介して前記シェルの内部に延出するとともに、前記ガスケット材料に対して密接な面対面接触状態にある導電体と、前記導電体の前記第1と第2の端部の少なくとも一方に取り付けられるコネクタと、を有するとともに、前記第1と第2のシェルは互いに近接状態で配置され、前記ガスケットに当接する前記封止面を有し、前記ガスケットはエラストマー誘電体材料を有し、前記ガスケットと前記導電体は、前記容器を封止するために前記封止面間で圧縮され、これによって、前記導電体は前記容器内に真空状態を維持するための前記ガスケット内に密閉され、前記真空状態を乱すことなく前記容器の外側から前記容器内部への導電経路を提供する、真空容器。
IPC (3件)：
B65D 85/00
, B65D 85/38
, B65D 81/20
