特許

J-GLOBAL ID：200903028944609404

柱状デバイス及び露光装置及びデバイス製造方法

発明者： 稲 秀樹
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057607
公開番号（公開出願番号）：特開平10-256476
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】 露光に好適な新規形状のデバイス及びこのデバイスへの露光に好適な露光装置及び製造方法を提供すること。【解決手段】 デバイスとして柱状面に回路パターンが形成された柱状デバイスとすること及び柱状面を回転させて回路パターンを露光すること。

請求項（抜粋）：

形状が柱状であり、柱状面に回路パターンが形成されたことを特徴とする柱状デバイス。

IPC (2件)：

H01L 27/00 301 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 27/00 301 Z ,  H01L 21/30 514 C ,  H01L 21/30 518