特許

J-GLOBAL ID：200903028948405013

酸化膜厚さ測定方法

発明者： 杉浦 雅人 ,  田中 富三男
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-062524
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270130
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：

【要約】【目的】 熱間圧延工程等で鋼板表面に生成する酸化膜の厚さを、熱間ライン上で連続的にかつ非接触で測定する。【構成】 酸化膜の厚さに対応して分光放射率が変化する遠赤外域の特定波長で分光放射輝度を検出する。また酸化膜の厚さによらず分光放射率が既知で一定の任意の波長で分光放射輝度を検出する。これらの検出値から特定波長の未知分光放射率を演算し、予め測定した分光放射率と酸化膜厚さの関係に基づき酸化膜厚さを求める。

請求項（抜粋）：

酸化膜の厚さに対応して分光放射率が変化する遠赤外域の特定波長で分光放射輝度を検出し、かつ酸化膜の厚さによらず分光放射率が既知で一定の任意の波長で分光放射輝度を検出し、これらの検出値から前記特定波長の未知分光放射率を求め、予め測定した分光放射率と酸化膜厚の関係に基づき酸化膜厚を測定することを特徴とする酸化膜厚さ測定方法。