特許
J-GLOBAL ID：200903028966683845
インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中村 智廣
, 成瀬 勝夫
, 小泉 雅裕
, 青谷 一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-203076
公開番号（公開出願番号）：特開2004-314641
出願日： 2004年07月09日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】 圧電プレートを任意の形状に形成しながらも、簡潔な製造プロセスによって、マトリクス状配列ヘッドの高密度で二次元配列された多数の圧電素子を容易に製造することができるインクジェット式記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】 本製造方法は、インク室に連通し二次元的に配列された複数の圧力室12aと、各圧力室12aを駆動する複数の圧電素子14aとを備え、圧電素子14aの作動で圧力室12a内のインクを加圧し、圧力室12aに連通するノズル11aからインク滴を吐出する形式のインクジェット式記録ヘッドを製造する。本製造方法では、基板23に剥離可能に接着した圧電プレートをパターニングして、複数の圧電素子14aが基板23上に二次元的に配列された圧電素子ユニットを形成し、圧電素子ユニットの各圧電素子14aを振動板13に接着してから、基板23を各圧電素子14aから剥離する。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
夫々がインク室に連通し二次元的に配列された複数の圧力室と、該圧力室の壁面の一部を形成する振動板と、前記圧力室に対応するように前記振動板に接合された複数の圧電素子とを備え、該圧電素子の作動で前記圧力室内のインクを加圧し、該圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出する形式のインクジェット式記録ヘッドを製造する製造方法であって、
圧電プレートにマスクフィルムを貼り付ける工程と、
前記マスクフィルムを、前記複数の圧電素子が二次元的に配列された圧電素子ユニットとなる領域を形成するための圧電素子マスクパターンと、前記圧電素子ユニットの外周となる外周ダミーパターンを形成するための外周ダミーマスクパターンと、前記圧電素子ユニット内に、各圧電素子の周囲の隙間を全てほぼ同じ寸法にするための残存ダミーパターンとを備えたパターンマスクに形成する工程と、
前記パターンマスク上からサンドブラスト加工を施し、前記圧電プレートをパターニングして、複数の圧電素子が二次元的に配列された圧電素子ユニットを形成する工程とを備えることを特徴とするインクジェット式記録ヘッドの製造方法。
IPC (6件)：
B41J2/16
, B41J2/045
, B41J2/055
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
B41J3/04 103H
, B41J3/04 103A
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 J
, H01L41/18 101D
2C057AF37
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG39
, 2C057AG40
, 2C057AG44
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP21
, 2C057AP25
, 2C057AP52
, 2C057AP54
, 2C057AP75
, 2C057AP77
, 2C057BA04
, 2C057BA14
, 5D107AA20
, 5D107BB20
, 5D107CC01
, 5D107CC10
