特許

J-GLOBAL ID：200903028968387232

位置計測装置並びに露光装置及び露光方法

発明者： 萩原 恒幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-062520
公開番号（公開出願番号）：特開2001-250766
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 光学系の装置構成の大規模化を招かずに、波長帯域の広い光源が照明光の光源である場合であっても、次数毎にマークの位置情報を計測することで、マークが設計値通り形成されていないときでも高い精度でマークの位置情報を検出することができる位置計測装置並びに露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】 アライメントセンサ12は、ウェハW上に形成されたアライメントマークAMに対して照明光ILを照射し、照明光ILの照射により生じるアライメントマークの像を撮像して画像信号を生成し、位置演算ユニット27は、上記画像信号に基づいて、奇数次の高調波を抽出し、抽出した奇数次高調波に基づき、アライメントマークAMの位置情報を求める。

請求項（抜粋）：

物体上に形成されたマークに対して検知ビームを照射する照射手段と、前記検知ビームの照射により生じる前記マークの像を撮像して画像信号を生成する撮像手段と、前記画像信号に基づいて、奇数次の高調波を抽出する抽出手段と、前記抽出手段で抽出された前記奇数次高調波に基づき、前記マークの位置情報を求める演算手段とを具備することを特徴とする位置計測装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00

FI (6件)：

G01B 11/00 C ,  G01B 11/00 H ,  G01B 11/00 G ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 A ,  H01L 21/30 525 W

Fターム (34件)：

2F065AA03 ,  2F065AA07 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065FF48 ,  2F065FF55 ,  2F065GG02 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL35 ,  2F065PP12 ,  2F065PP23 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2H097AB09 ,  2H097BA01 ,  2H097GB01 ,  2H097KA03 ,  2H097KA13 ,  2H097KA20 ,  2H097KA29 ,  2H097KA38 ,  2H097LA10 ,  5F046BA04 ,  5F046EB01 ,  5F046FA03 ,  5F046FA10 ,  5F046FB07 ,  5F046FB08 ,  5F046FB12 ,  5F046FC04