特許

J-GLOBAL ID：200903028970992704

液晶表示器の効率的な製造システムおよび製造方法

発明者： ドラビック、ティモスィー ジェイ. ,  コール、ポール エイ.
出願人/特許権者： ジョージア テック リサーチ
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-542913
公開番号（公開出願番号）：特表2001-519049
出願日： 1998年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月16日
要約：

【要約】本発明は完全に一括形成される液晶表示器(20)の効率的な微細加工を可能にする。まず、犠牲層(37)をパターニングして犠牲層の一部を除去し、犠牲層を支持する下層表面を部分的に露出する。次いで、犠牲層(37)の上に浸透層(35)を形成して、犠牲層(37)がパタンーニング除去された部分を埋める。この状態で加熱することにより、犠牲層を浸透層中に融解、拡散させ、犠牲層があった位置に空洞(37)を形成する。犠牲層が拡散して消滅しても、パターニング除去された部分を埋めている浸透層が上部の浸透層を支持することができる。このように、犠牲層をこの構成物から抜き取るための開口をエッチングする必要がなく、また、製造中の液晶表示器(20)をエッチングするための機械的構成要素を別途設ける必要がなく、液晶表示器(20)を容易に、かつ信頼性高く形成することができる。

請求項（抜粋）：

表面に導電パッドが形成されたベースと、 犠牲物質上に形成された浸透性物質であって、前記犠牲物質が加熱されると前記浸透性物質中に融解、拡散して、前記導電パッドと浸透性物質との間にキャビティを形成するように構成された浸透性物質と、 前記キャビティ内に充填される液晶と、 一定の電圧が印加されたコンタクトと、 前記コンタクトに接続された透明コンダクタと、を備え、前記透明コンダクタと前記導電プレートとの間の電位差によって、前記液晶中に電場が生じることを特徴とする微細加工されたシステム。

IPC (2件)：

G02F 1/1345 ,  G02F 1/1341

FI (2件)：

G02F 1/1345 ,  G02F 1/1341