特許

J-GLOBAL ID：200903028975786509

超音波モータ

発明者： 菅谷 功
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-000816
公開番号（公開出願番号）：特開平8-191574
出願日： 1995年01月06日
公開日（公表日）： 1996年07月23日
要約：

【要約】【目的】 低い電圧の印加によって、静かで効率よく高速駆動ができ、しかも、構造がシンプルで、小型・軽量化を可能とする。【構成】 略平行な2つのガイド壁面6a,6aを有するガイドステージ6との間で相対移動を行い、略平行に配置されガイド壁面6a,6aに接触する弾性部材1A,1Aとそれらの弾性部材1A,1Aの略中心部を連結する弾性部材1BとからなるH型の弾性体1と、弾性部材1A,1Aに設けられ、伸縮方向に変位する圧電素子3と、弾性部材1Bに設けられ、曲げ方向に変位する圧電素子4とを備える。

請求項（抜粋）：

略平行な2つのガイド壁面を有する相対移動部材との間で相対移動を行う超音波モータにおいて、略平行に配置され前記ガイド壁面に接触する第1及び第2の弾性部材とそれらの弾性部材の略中心部を連結する第3の弾性部材とからなる弾性体と、前記第1及び第2の弾性部材に設けられ、伸縮方向に変位する第1の電気機械変換素子と、前記第3の弾性部材に設けられ、曲げ方向に変位する第2の電気機械変換素子と、を備えたことを特徴とする超音波モータ。