特許
J-GLOBAL ID：200903028977280572
エレクトロンシャワー装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-048013
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267492
出願日： 1993年03月09日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 棒状のフィラメント一本からでも低エネルギー電子の大面積・大量放出が可能なエレクトロンシャワー装置を得る。【構成】 引き出し電極と、減速電極の間に電子を発散させる手段と、発散させた電子を平行化する手段を設けたもので、電子を発散させる手段として、引き出し電極と減速電極の間に挿入された電極により構成される発散空間と、発散させた電子を平行化する手段として、前記空間の後に設けられた少なくとも1枚以上のメッシュもしくは複数の開口部を持つ集束電極を設けたものである。
請求項（抜粋）：
イオン注入装置に搭載され、イオンビームによるウエハの正帯電を中和するために用いられ、フィラメントからの熱電子を直接ウエハに輸送するエレクトロンシャワー装置で、所望する量の電子を引き出すための引き出し電極と、引き出された電子を所望のエネルギーにする減速電極を持つものにおいて、引き出し電極と減速電極の間に、電子を発散させる手段と、発散させた電子を平行化する手段とを設けたことを特徴とするエレクトロンシャワー装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 37/06
, H01L 21/265
