特許
J-GLOBAL ID：200903028979598871
加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-066029
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267193
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 セラミックスヒーターの背面側と加熱面側との間を良好にシールでき、熱変化にも対応でき、構造的に安定な加熱装置を提供することである。【構成】 例えば円盤状の基体1は、緻密質セラミックスからなる。円盤状基体1の内部に抵抗発熱体2が埋設される。例えば、円盤状基体1の側周面に全周に亘って段部1dが形成されている。断熱材製の支承部9によってセラミックスヒーター1を支承する。筒状体10が、支承部9の側周面を囲み、かつ円盤状基体1の側周面の一部を囲む。筒状体10と支承部9とは、相対的に変位可能なように取り付けられている。筒状体の内側へと延びる例えば円環状の突設部10c が、筒状体10の例えば先端に形成される。円環状突設部10c が、例えば円環状シール部材を介して、例えば段部1dに付勢される。
請求項（抜粋）：
緻密質セラミックス製の盤状基体の内部に抵抗発熱体を埋設してなるセラミックスヒーターと、このセラミックスヒーターを支承する断熱材製の支承部と、耐熱金属製の筒状体とを備え、この筒状体と前記支承部とが逆方向へと相対的に変位可能なように取り付けられ、前記筒状体の内側へと延びる環状突設部がこの筒状体に形成され、この環状突設部を前記盤状基体に対して付勢することで環状突設部と盤状基体との間で気体を封止できるように構成された、加熱装置。
IPC (2件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
