特許

J-GLOBAL ID：200903028985519240

光走査装置、光走査モジュール及び画像形成装置

発明者： 佐藤 幸人
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-022274
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222817
出願日： 2002年01月30日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】 マイクロマシニング技術を用いて作製される光走査装置の作製プロセスにおける問題点を解決し、加工精度が良く、かつ歩留まりの高い光走査装置を提供する。【解決手段】 枠状フレームと、該枠状フレームの上面に設けられた絶縁体と、該絶縁体の上面であって対向する辺にそれぞれ設けられた固定電極と、前記絶縁体上であって前記固定電極が設けられた辺と直交する辺にそれぞれ設けられたねじり梁支持部と、各ねじり梁支持部より伸び、同一直線上に設けられたねじり梁と、該ねじり梁に接合し、前記固定電極と対向する位置に可動電極を有し、かつ上面に反射面を有するミラー基板とからなり、前記固定電極と可動電極との間に生じる静電引力によって前記ねじり梁をねじり回転軸として前記ミラー基板を往復振動させる光走査装置において、前記枠状フレームの枠の内側から外側に通じる少なくとも一つの連通口を備えた。

請求項（抜粋）：

枠状フレームと、該枠状フレームの上面に設けられた絶縁体と、該絶縁体の上面であって対向する辺にそれぞれ設けられた固定電極と、前記絶縁体上であって前記固定電極が設けられた辺と直交する辺にそれぞれ設けられたねじり梁支持部と、各ねじり梁支持部より伸び、同一直線上に設けられたねじり梁と、該ねじり梁に接合し前記固定電極と対向する位置に可動電極を有しかつ上面に反射面を有するミラー基板とからなり、前記固定電極と可動電極との間に生じる静電引力によって前記ねじり梁をねじり回転軸として前記ミラー基板を往復振動させる光走査装置において、前記枠状フレームの枠の内側から外側に通じる少なくとも一つの連通口を備えたことを特徴とする光走査装置。

IPC (5件)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/036

FI (5件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/10 F ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/036 Z ,  B41J 3/00 D

Fターム (18件)：

2C362AA11 ,  2C362AA45 ,  2C362BA17 ,  2C362BA83 ,  2C362DA08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045DA02 ,  5C051AA02 ,  5C051CA06 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE09 ,  5C051DE26