放電励起パルスレーザ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271210
公開番号（公開出願番号）：特開平8-132321
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】【目的】放電励起パルスレーザ装置の主放電電極2、3の電圧の立ち上がりを遅延させずに、補助電極4に印加される電圧パルスの立ち上がりを急峻にする。【構成】第1充電用コンデンサ9と直列に接続されているリアクトルを第1可飽和リアクトル19で構成しさらに第2充電用コンデンサ12と直列に第2可飽和リアクトル21を挿入したものである。【効果】スイッチ8の浮遊インダクタンス成分並びに抵抗成分が最小となった後、先ず、第2可飽和リアクトル21のインダクタンスが低減し、その後、第1可飽和リアクトル19のインダクタンスが低減するので、コロナ放電と主放電とのための電圧の立ち上がりの峻度を共に高い値に設定でき、予備電離量が増大して主放電17が均一になり放電への注入エネルギーも増大してレーザ出力、発振効率が向上する。

請求項（抜粋）：

互いに対向配置され、主放電を発生させる一対の第1、第2主放電電極と、この第2主放電電極の近傍に配置されて該第2主放電電極との間でコロナ放電を発生させる補助電極と、前記第1、第2主放電電極に接続されてそれらの間に主放電用のパルス電圧を印加する第1パルス発生回路と、前記第2主放電電極と補助電極とに接続されてそれらの間にコロナ放電用のパルス電圧を印加する第2パルス発生回路と、前記第1パルス発生回路から前記第1、第2主放電電極へ印加される電圧及び前記第2パルス発生回路から前記第2主放電電極及び前記補助電極へ印加される電圧を断接制御するスイッチと、そのスイッチと前記第1パルス発生回路との間に接続された第1可飽和リアクトルと、前記スイッチと前記第2パルス発生回路との間に接続された第2可飽和リアクトルとを備えることを特徴とする放電励起パルスレーザ装置。

IPC (2件)：

B23H 1/02 , B23H 1/00

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平2-303083
放電励起パルスレーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-003725 出願人：三菱電機株式会社
パルスレーザ発振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-080601 出願人：株式会社東芝

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