特許
J-GLOBAL ID：200903028992361155
弾性表面波フィルタ装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-091181
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286673
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成で弾性表面波フィルタ装置の端面反射波の影響を軽減させる。【解決手段】 端部12,13方向に伝播する弾性表面波は、サンドブラスト処理によって形成された表面粗さが10〜50μmの面によって、平面方向では水晶基板1の側面方向に反射され、深さ方向では散乱される。これによって、反射波がメイン波に直接入射されないので、反射波のメイン波への悪影響を軽減させることができる。
請求項（抜粋）：
圧電性基板と、この圧電性基板の表面上に形成され、電気信号が外部から入力され、この電気信号を弾性表面波に変換する入力側変換器と、前記圧電性基板の表面上に形成され、前記入力側変換器で励振された弾性表面波を電気信号に変換し、この電気信号を外部に出力する出力側変換器とを具え、前記圧電性基板の表面の両端部にサンドブラスト処理が施され、このようなサンドブラスト処理によって形成された面が0.1〜10μmの表面粗さを有することを特徴とする弾性表面波フィルタ装置。
Fターム (16件)：
5J097AA04
, 5J097AA29
, 5J097AA31
, 5J097BB11
, 5J097CC15
, 5J097DD04
, 5J097DD10
, 5J097DD13
, 5J097DD20
, 5J097EE06
, 5J097GG02
, 5J097HA02
, 5J097HA07
, 5J097HA08
, 5J097KK04
, 5J097KK09
