特許

J-GLOBAL ID：200903029000718614

干渉計及びビーム結合方法

発明者： エリザベス・アン・ネヴィス
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-234539
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083711
出願日： 2002年08月12日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】干渉計の温度環境から光源レーザ等を離隔しつつも、偏光/周波数成分を混合することの無い精密なビーム伝達を可能にする。【解決手段】本発明の干渉計は、第1の偏光と第1の周波数を備えた第1のビームと第2の偏光と第2の周波数を備えた第2のビームとを出力する光源(110、220)を有する。複屈折材料を含むビームコンバイナ(270)は、音響光変調器(AOM;230、235)、光ファイバー(250,255)を介して前記第1、第2のビームを受信し、結合ビームを発生する。干渉光学系(150)は前記ビームコンバイナから前記結合ビームを受信して、基準反射体(158)及び被測定物体(160)に配分伝達し、それらからの反射ビームは解析装置(140)に送られる。

請求項（抜粋）：

第1の偏光と第1の周波数とを備えた第1のビームと第2の偏光と第2の周波数とを備えた第2のビームとを出力する光源と、前記第1、第2のビームを受信して、結合ビームを発生するように位置決めされかつ向き付けられた、複屈折材料を含むビームコンバイナと、前記ビームコンバイナから前記結合ビームを受信する干渉光学系とを含む干渉計。

Fターム (14件)：

2F064AA04 ,  2F064AA15 ,  2F064DD02 ,  2F064DD08 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064FF06 ,  2F064GG04 ,  2F064GG12 ,  2F064GG21 ,  2F064GG22 ,  2F064GG23 ,  2F064GG38 ,  2F064GG70