特許

J-GLOBAL ID：200903029001522993

フィルトレーションシステム

発明者： 宮部 一恵 ,  桐山 修司
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-068266
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260345
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 ウエハの持ち込み異物数の多少に拘わらずエッチング液が回復して定常状態に戻るまでの回復時間をほぼ一定にし、その一定時間で異物除去が十分行えるようにして歩留まりを向上させる。また、一定時間で異物除去を十分に行うようにすることにより次工程への移行時間を一定にしてスループットを向上させることができる、フィルトレーションシステムを提供する。【解決手段】 エッチング液中の異物数を測定するためのダストカウンタと、エッチング液を循環させるための循環ポンプと、前記ダストカウンタからのデータに基づいて、前記循環ポンプの流量を制御する制御手段とを備えたフィルトレーションシステムである。

請求項（抜粋）：

半導体のウェット処理装置に備えられたエッチング液中の異物を除去するためのフィルトレーションシステムであって、エッチング液中の異物数を測定するためのダストカウンタと、エッチング液を循環させるための循環ポンプと、前記ダストカウンタからのデータに基づいて、前記循環ポンプの流量を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするフィルトレーションシステム。

IPC (4件)：

H01L 21/306 ,  C23F 1/08 ,  C23F 1/46 ,  H01L 21/304 341

FI (4件)：

H01L 21/306 J ,  C23F 1/08 ,  C23F 1/46 ,  H01L 21/304 341 S