特許

J-GLOBAL ID：200903029015787310

電子デバイス製造のための流体デリバリー系

発明者： ジョージ・アール・アラルダイス ,  ジョン・ジェイ・ブレードン ,  デービッド・オーグルズビー ,  イナ・シニッツカヤ
出願人/特許権者： シップレーカンパニー エル エル シー
代理人 (1件)： 千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-265177
公開番号（公開出願番号）：特開2001-115296
出願日： 2000年09月01日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：

【要約】【課題】 電子デバイス製造のための流体デリバリー系を提供する。【解決手段】 1以上の開口を有する物品をメタライズする方法であって、少なくとも1つのメタライゼーション溶液を、物品の表面に対して90°より小さい角度で前記溶液をスプレーすることにより物品の表面にデリバリーすることを含む前記方法が開示される。

請求項（抜粋）：

1以上の開口を有する物品をメタライズする方法であって、少なくとも1つのメタライゼーション溶液を、物品の表面に対して90°より小さい角度で前記溶液をスプレーすることにより物品の表面にデリバリーすることを含む前記方法。

IPC (9件)：

C25D 17/00 ,  C23C 18/31 ,  C23C 28/00 ,  C23G 3/00 ,  C25D 7/00 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/26 ,  H05K 3/46

FI (10件)：

C25D 17/00 G ,  C23C 18/31 A ,  C23C 28/00 A ,  C23G 3/00 Z ,  C25D 7/00 J ,  H05K 3/06 Q ,  H05K 3/18 L ,  H05K 3/18 N ,  H05K 3/26 A ,  H05K 3/46 Y