特許

J-GLOBAL ID：200903029016025732

加速度センサ

発明者： 岩田 仁 ,  木下 賢一
出願人/特許権者： 株式会社東海理化電機製作所
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-115441
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318580
出願日： 1994年05月27日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で製造コストを低減することができる加速度センサを提供することを目的とする。【構成】回路基板2の上下面にはそれぞれ円筒状のセンサマウント3,4が固定され、それらのセンサマウント3,4にはセンサチップ6が設けられている。センサチップ6には、片持梁6aの基端部が固定され、その片持梁6aの基端部には片持梁6aにおける歪みを感知し、その圧力に応じた電気信号を検出信号として出力する拡散歪ゲージ6bが形成されている。センサマウント3,4内には、回路基板2を覆うようにして適宜な密度を有したシリコンゲル8がそれぞれ収納され、シリコンゲル8はセンサチップ6を封止している。また、センサマウント4の下端にはベローズ9が設けられている。ベローズ9は容易にたわんで、シリコンゲル8の移動又は熱膨張を妨げないようになっている。

請求項（抜粋）：

ケース(3,4)と、そのケース(3,4)内に収納された加速度伝達媒体(8)と、前記ケース(3,4)内に収納され、外部から印加された加速度を前記加速度伝達媒体(8)を介して検知する感圧素子(6)と、前記ケース(3,4)のうち少なくとも一方に設けられたベローズ(9)とを備えた加速度センサにおいて、前記感圧素子(6)は、印加された加速度に基づいた前記加速度伝達媒体(8)からの圧力により屈曲,振動する片持梁(6a)と、その片持梁(6a)の基端部に形成された圧電変換器(6b)とからなるカンチレバー型半導体感圧センサチップである加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/12 ,  G01P 15/02