特許

J-GLOBAL ID：200903029028200777

位置決め装置、及びその位置決め装置を利用した露光装置

発明者： 是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-123832
公開番号（公開出願番号）：特開2004-254489
出願日： 2003年04月28日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】固定子コイルと可動子磁石との間で、6自由度方向の駆動力を発生させて、高精度な位置、姿勢制御を実現する。【解決手段】板状の可動子と、その可動子と対面する固定子との間で駆動力を発生させて、可動子の位置決めを制御する位置決め装置は、可動子の板状面内に、配列周期に従い配列し、所定の方向に着磁された可動子磁石(114)と、配列周期に対応する間隔で配列させた固定子コイル(116)と、隣接する固定子コイルに対して、位相差の異なる制御電流をそれぞれ供給し、可動子磁石と対面する前記固定子コイルとの間で、可動子を駆動させる駆動力を発生させる電流制御部とを有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

板状の可動子と、該可動子と対面する固定子との間で駆動力を発生させて、該可動子の位置決めを制御する位置決め装置であって、 前記可動子の板状面内に、配列周期に従い配列し、所定の方向に着磁された可動子磁石と、 前記配列周期に対応する間隔で配列する固定子コイルと、 隣接する前記固定子コイルに対して、位相差の異なる制御電流をそれぞれ供給し、前記可動子磁石と対面する前記固定子コイルとの間で、前記可動子を駆動させる駆動力を発生させる電流制御部と、を有することを特徴とする位置決め装置。

IPC (9件)：

H02K41/03 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  G05D3/00 ,  H01L21/027 ,  H02K9/19 ,  H02K9/22 ,  H02K41/02 ,  H02P7/00

FI (9件)：

H02K41/03 A ,  G03F7/20 521 ,  G03F9/00 H ,  G05D3/00 P ,  H02K9/19 Z ,  H02K9/22 Z ,  H02K41/02 Z ,  H02P7/00 101B ,  H01L21/30 515G

Fターム (47件)：

5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC06 ,  5F046CC20 ,  5H303AA06 ,  5H303BB03 ,  5H303BB08 ,  5H303BB12 ,  5H303CC02 ,  5H303DD11 ,  5H303EE03 ,  5H303FF03 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H540AA01 ,  5H540AA10 ,  5H540BA05 ,  5H540BB03 ,  5H540BB07 ,  5H540BB09 ,  5H540EE04 ,  5H540EE05 ,  5H540FA11 ,  5H540FA30 ,  5H609BB08 ,  5H609BB24 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609QQ04 ,  5H609QQ05 ,  5H609QQ08 ,  5H609QQ23 ,  5H609RR26 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG24 ,  5H641GG26 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641JA07 ,  5H641JB05

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 平面モータ、ステージ位置決めシステム、露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-189658   出願人：株式会社ニコン
• 電機子ユニット、電磁アクチュエータ、ステージ装置、露光装置及びこれを用いたデバイスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-254316   出願人：株式会社ニコン