特許
J-GLOBAL ID：200903029032081456
クリーンルーム用密閉式コンテナ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-286567
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 ガス補給のために不活性ガスパージステーションまで移動させなくても済み、システムの負担を軽減することができる半導体製造システムにおいて用いられクリーンルーム用密閉式コンテナを提供することを目的とする。【構成】 ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気にして半導体等製造システムの装置から装置へ搬送される密閉式コンテナ10において、当該コンテナは、一端が内部に開口し他端が外部に開口するガス通路孔31を有し、このガス通路孔の上記他端部に、可搬式の不活性ガスボンベ20が着脱可能に取付けられ、当該不活性ガスボンベはコンテナ漏れガス分補給用であることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウエハを収納し内部を不活性ガス雰囲気にして半導体等製造システムの装置から装置へ搬送される密閉式コンテナにおいて、当該コンテナは、一端が内部に開口し他端が外部に開口するガス通路孔を有し、このガス通路孔の上記他端部に、可搬式の不活性ガスボンベが着脱可能に取付けられ、当該不活性ガスボンベはコンテナ漏れガス分補給用であることを特徴とするクリーンルーム用密閉式コンテナ。
IPC (6件)：
B65G 49/00
, B65D 85/38
, B65D 88/12
, B65G 49/07
, F24F 7/007
, H01L 21/02
