特許
J-GLOBAL ID：200903029033291438

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
伊藤 武史

伊藤 武史 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144886
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338028
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 Z方向のフィードバック制御の応答速度を高め、また、XY方向の走査に伴うレーザー光の照射位置の変動を防止する。【解決手段】 試料Sと対向配置するプローブ3と、Z方向に駆動するZ方向スキャナー5と、XY方向に走査するXY方向スキャナー4と、プローブの変位を検出する測定ヘッド3とを備え、プローブ3をZ方向スキャナー5に取り付け、測定ヘッド2が備えるレーザー発光部21をZ方向スキャナー5とXY方向スキャナー4との間に配置する構成とし、プローブ3のみをZ方向に駆動することによってZ方向のフィードバック制御の応答速度を高め、また、プローブ3上のレーザー光の照射位置をXY方向の走査と無関係とすることによって誤検出を防止する。
請求項（抜粋）：
試料と対向配置するプローブと、Z方向に駆動するZ方向スキャナーと、XY方向に走査するXY方向スキャナーと、プローブの変位を検出する測定ヘッドとを備える走査型プローブ顕微鏡であって、前記プローブをZ方向スキャナーに取り付け、測定ヘッドが備えるレーザー発光部をZ方向スキャナーとXY方向スキャナーとの間に配置し、Z方向スキャナーはプローブのみをZ方向にフィードバック制御し、XY方向スキャナーはレーザー発光部とZ方向スキャナーを一体としてXY方向に走査する、走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 13/16 ,  G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30
FI (4件)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z
Fターム (27件)：
2F063AA04 ,  2F063AA43 ,  2F063CA12 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB01 ,  2F063DB06 ,  2F063EA16 ,  2F063EA20 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063ZA01 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069AA60 ,  2F069DD15 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 走査型プローブ顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-073923   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 微動機構
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-027522   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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