特許
J-GLOBAL ID：200903029038135191
ステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-140738
公開番号（公開出願番号）：特開平7-325176
出願日： 1994年06月01日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】 制御対象物を速く且つ正確に位置制御することができるステージ装置を得る。【構成】 互いに相対移動する第1部分と第2部分とを備えたステージ装置において、前記第1部分と第2部分との間に磁束発生手段と導電体とからなる制動力発生手段を備え、この制動力発生手段による電磁誘導作用によって前記第1部分と第2部分との相対速度に比例した制動力を前記第1部分と第2部分とに付与するステージ装置。
請求項（抜粋）：
互いに相対移動する第1部分と第2部分とを備えたステージ装置において、前記第1部分と第2部分との間に電磁誘導作用によって相対速度に比例した制動力を発生する制動力発生手段を備えたことを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
