特許

J-GLOBAL ID：200903029041472727

面発光レーザ素子、面発光レーザ素子を使用した光送受信器、光通信器および光通信システム

発明者： 岩井 則広 ,  清水 均
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-170574
公開番号（公開出願番号）：特開2004-015027
出願日： 2002年06月11日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】閾値電流が低く、スロープ効率が大きい面発光レーザ素子を実現する。【解決手段】n型基板1上に、反射側半導体多層膜反射鏡2、下部クラッド層3、活性層4、上部クラッド層7、出射側半導体多層膜反射鏡8が順次積層され、出射側半導体多層膜反射鏡8内部には、開口部5と、開口部5の周囲に配置された選択酸化層6を有する。下部クラッド層3上部および下部クラッド層3より上の半導体層はメサポスト状に形成され、上面を除くメサポスト状領域全体および下部クラッド層3の上面全体が保護層10に覆われている。メサポスト状領域周縁にポリイミド層11が配置され、中央に開口部を備えたp側電極12が配置されている。また、n型基板1下面には、n側電極13が配置されている。出射側半導体多層膜反射鏡8の反射率を99.4%〜99.8%とし、反射側半導体多層膜反射鏡2の反射率を99.9%以上とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体基板上に積層された活性層を備え、前記半導体基板に対して垂直方向に1.2μm以上、1.6μm以下のレーザ光を出射する面発光レーザ素子において、 前記レーザ光に対して99.9パーセント以上の反射率を有する反射側半導体多層膜反射鏡と、 前記レーザ光に対して99.4パーセント以上、99.8パーセント以下の反射率を有する出射側半導体多層膜反射鏡と、 を備えたことを特徴とする面発光レーザ素子。

IPC (1件)：

H01S5/183

FI (1件)：

H01S5/183

Fターム (10件)：

5F073AA73 ,  5F073AA74 ,  5F073AA75 ,  5F073AB17 ,  5F073AB28 ,  5F073BA02 ,  5F073CA17 ,  5F073CB02 ,  5F073EA23 ,  5F073EA24