特許

J-GLOBAL ID：200903029047208550

スクリーン印刷用メタルマスク、およびその製造方法

発明者： 嶋津 博士
出願人/特許権者： 九州日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 折寄 武士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-315372
公開番号（公開出願番号）：特開平5-124371
出願日： 1991年11月01日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】 スクリーン印刷用メタルマスクに、被印刷物との位置合わせに用いるために設けられるターゲットマークにおいて、その平面形状を環状に形成することにより該マークを、印刷用パターン部と同時に電鋳で形成可能にし、またCCDカメラで読み取り易くする点にある。【構成】 印刷用パターン部とターゲットマーク用のパターンとを有するレジスト膜11を母型6の表面に形成し、ターゲットマーク用のパターン部11aはその厚を印刷用パターン部の厚よりも薄く、かつ環状に形成したうえで、電鋳する。これによりCCDカメラで読み取り易いようにできる限りターゲットマーク4の外径を大きく形成でき、またオーバハングにより盲穴に電鋳形成できる。

請求項（抜粋）：

電着金属からなるマスク基板1に所望の印刷パターンにパターンニング形成されたインキ・ぺースト通し用の開口部2と、被印刷物との位置合わせに用いる盲穴形のターゲットマーク4とを有するスクリーン印刷用メタルマスクにおいて、ターゲットマーク4が環状に形成されていることを特徴とするスクリーン印刷用メタルマスク。