特許
J-GLOBAL ID：200903029048831668
偏光解析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-343696
公開番号（公開出願番号）：特開平7-167774
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】偏光解析装置の小形化を計る。【構成】直線偏光の平行光束を開口数の大きいレンズLで試料面に集光させ、試料面からの反射光をレンズを通して平行光束とし、検光子Pを通して一次元解像性の光検出器で検出する。【効果】平行直線偏光光束を開口数の大きなレンズで試料面に集中させているので、照射光の照射角は広い範囲で連続的に変化しており、色々な入反射角での偏光特性が同時的に測定できる。
請求項（抜粋）：
試料面に垂直な光軸Z上に半透明鏡を斜めに挿入し、この半透明鏡を貫通する上記光軸上或は同半透明鏡により反射折曲される光軸Y上の何れかに直線偏光の平行光束光源を置き、他方の光軸上に回転可能な検光子と位置分解能を有する受光素子を置き、上記半透明鏡と試料との間にレンズを置いて試料に入射する上記光源からの平行光束を試料面上の一点に集光させるようにしたことを特徴とする偏光解析装置。
IPC (2件)：
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