特許
J-GLOBAL ID：200903029052228801
走査プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-062779
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257809
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【目的】走査プローブ顕微鏡が低倍域で視野探しできる分解能を有するようにしながら、しかもこの走査プローブ顕微鏡を小型に形成する。【構成】キャップ25が、試料3を収容するヘッド24を囲うようにして設けられる。このキャップ25の試料3を見込む位置に、電子銃30、収束レンズ31および偏向器32からなる電子線照射系33が設けられているとともに、検出器6の受光面の前方に、絶縁性基板34、蛍光体35およびアノード電極36からなる電光変換手段44が設けられている。そして、電子線照射系33から電子ビームが試料3に照射されることにより、試料3から2次電子が放出され、この2次電子が電光変換手段44に衝突する。このため、電光変換手段44が光を発し、この光が検出器6によって検出される。これにより、低倍域での視野探しが可能となる。
請求項（抜粋）：
光源と、この光源から放出される光線の光路中にその先端が配置されるとともに試料を走査する探針を有するカンチレバーと、このカンチレバーに前記光線が当たって反射する反射光線の光路中に配設され、この反射光を検出する検出器とを少なくとも備えている光学系を収容するヘッド部と、少なくとも前記ヘッド部と前記試料を含む空間を囲うように着脱可能に設けられる隔壁と、前記試料を見込む前記隔壁の位置に取り付けられ、電子銃と収束レンズと偏向器とからなり、前記試料を照射する電子線を放出する電子照射系と、前記検出器の受光面の前方に配置され、前記電子線が前記試料に当たることにより発生する2次電子を受けて、光を前記検出器に発光する電光変換手段と、前記隔壁の内部空間を排気するための排気手段と、を少なくとも備えていることを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
