特許
J-GLOBAL ID：200903029057507350
ワイヤボンデイング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093792
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283264
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】気体流れが安定化してワイヤの振れが小さくなり、また気体ガイド板の汚れが一目で判ると共に掃除が非常に容易であり、かつ製作コストの低減を図る。【構成】ワイヤ14が巻回されたスプール15とキャピラリとの間に配設されてワイヤ14にテンションを付与するテンション付与手段20は、気体を噴出するノズル21と、ノズル21より噴出された気体の流れ方向に沿って設けられた1枚の気体ガイド板24とからなる。
請求項（抜粋）：
気体を噴出するノズルと、このノズルより噴出された気体の流れ方向に沿って設けられた気体ガイド板とからなり、ワイヤが巻回されたスプールとキャピラリとの間に配設されてワイヤにテンションを付与するテンション付与手段を有するワイヤボンデイング装置において、前記気体ガイド板は1枚よりなることを特徴とするワイヤボンデイング装置。
引用特許：
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