特許

J-GLOBAL ID：200903029061258390

非球面形状測定装置及び方法

発明者： 中山 繁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-084568
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260020
出願日： 1997年03月17日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】球面干渉計で測定可能な非球面量の概ね2倍までの非球面量を有する被検面の形状を高精度に測定する非球面形状測定装置及び方法を提供する。【解決手段】光源1からの一部の光を、参照面で反射させて参照光とし、他の一部の光を、波面形成手段を介して被検非球面W2で反射させて測定光とし、測定光を参照光と干渉させ2次元画像検出器8に干渉縞を形成し、干渉縞に基づいて被検面の面形状を測定する非球面形状測定装置において、波面形成手段は、被検面及び被検面の近似球面の双方について干渉測定可能な測定波を生成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源からの一部の光を、参照面で反射させて参照光とし、他の一部の光を、波面形成手段を介して被検非球面で反射させて測定光とし、該測定光を前記参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞に基づいて前記被検面の面形状を測定する非球面形状測定装置において、前記波面形成手段は、前記被検面及び該被検面の近似球面の双方について干渉測定可能な測定波を生成することを特徴とする非球面形状測定装置。