特許

J-GLOBAL ID：200903029061541610

ウエハ支持部材

発明者： 前原 達也 ,  井之上 博範
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121369
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311934
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】100°C以上の高温雰囲気下で、静電吸着用電極やプラズマ発生用電極をなす内部電極3,4と電気的に接続された外部端子5,6を板状セラミック体2に接合するロウ材の銀イオンや銅イオンがマイグレーションを起こして外部端子5,6間が導通し、静電吸着力やプラズマが得られなくなることを防止する。【解決手段】ウエハWの載置面2aを有する板状セラミック体2中に埋設する静電吸着用電極やプラズマ発生用電極をなす内部電極3,4と電気的に接続される外部端子5,6を、板状セラミック体2に銀及び/又は銅を含むロウ材を用いて植設し、前記外部端子5,6の外周に、外部端子5,6よりも熱膨張係数が大きな筒状体7,8を取着するとともに、前記筒状体7,8の端部を板状セラミック体2の表面より所定距離t離間させて設置してウエハ支持部材1を構成する。

請求項（抜粋）：

ウエハが載置される載置面を有する板状セラミック体中に、少なくとも一つの内部電極を有し、該内部電極と電気的に接続される外部端子を、前記板状セラミック体の表面に銀及び/又は銅を含むロウ材を用いて植設してなるウエハ支持部材において、前記外部端子の外周に、該外部端子よりも熱膨張係数が大きなセラミックス、Ni又はNi合金、或いはNi、Au,Ptのいずれかを被覆した金属部材よりなる筒状体を取着するとともに、前記筒状体の端部を、前記板状セラミック体の表面より所定距離離間させた位置に配したことを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00

FI (6件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C23C 14/50 A ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/302 B

Fターム (19件)：

3C016AA01 ,  3C016GA10 ,  4K029DA08 ,  4K029JA01 ,  5F004BB22 ,  5F004BB26 ,  5F004BB29 ,  5F031CA02 ,  5F031DA13 ,  5F031HA17 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F045AA08 ,  5F045BB20 ,  5F045EB03 ,  5F045EB05 ,  5F045EK01 ,  5F045EM05