特許
J-GLOBAL ID：200903029062364711
波動ジャイロスコープ及びそれを用いた回転角速度検出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139471
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334330
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 立体構造物であった振動ジャイロスコープを、弾性表面波やラム波を用いることで、二次元的な電極配置により製作可能とし、これにより、精度の向上、素子の微小化、素子の堅牢化と保持の堅牢化、製造コストの低減化を図り得る波動ジャイロスコープ及びそれを用いた回転角速度検出方法を提供する。【構成】 弾性波基板11上に設けられた駆動用電極1,2と反射器3,4、検出用電極5,6と反射器7,8及び摂動電極9により構成される。駆動用電極1,2は、駆動用の高周波電源に接続され、電極の幾何形状により決定される共振周波数で駆動される。この波動は、2つの駆動用電極1,2の背部に配置した反射器3,4により反射されて、導波路内にて定在波振動となる。導波路上には、レーリー波の波長間隔で摂動電極9が配置されている。この摂動電極9は駆動用電極1,2の励振により加振され、弾性波基板11面に対して上下方向の振動をするように配置されている。振動間の間隔は弾性波の1波長となる周期構造となっている。
請求項（抜粋）：
弾性表面波又はラム波を用いた波動ジャイロスコープにおいて、(a)弾性波基板上に駆動弾性波の波長間隔を有するとともに、これと垂直な方向の間隔は検出弾性波の1波長となる周期構造で配置される摂動電極と、(b)該摂動電極を挟んで左右に配置される駆動用電極と、(c)該駆動用電極の背部に配置される反射器と、(d)前記摂動電極を挟んで上下に配置される検出用電極と、(e)該検出用電極の背部に配置される反射器とを具え、(f)前記駆動用電極に高周波電源を接続し、導波路内にて定在波振動させ、外部から与えられる回転運動が作用することにより、前記摂動電極にはコリオリ力が生じ、該コリオリ力により、駆動波と直行する方向に同一周波数の弾性波を発生させ、該弾性波を前記検出用電極で検出することにより、回転角速度を検出することを特徴とする波動ジャイロスコープ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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